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LED步進式光刻機

LED步進式光刻機

產(chǎn)品特點 適用于4-6英寸基底LED硅芯片/藍寶石芯片生產(chǎn)中的光刻工藝，采用超大曝光視場，大大減少曝光次數(shù)，顯著提高產(chǎn)能；同時該設(shè)備具有高分辨率、高線寬均勻性等特點。?

產(chǎn)品應(yīng)用

應(yīng)用范圍：LED晶圓。

產(chǎn)品參數(shù)

主要參數(shù)加工尺寸4”、6“晶圓
加工速度4", 137pcs/h
6", 110pcs/h
加工精度分辨率2μm L/S
平臺參數(shù)定位精度
X: ±200nm
Y: ±200nm
Z: ±350nm
Rx Ry Rz：10urad
激光器參數(shù)光源：2000W UV Lamp，波長365nm
感光區(qū)域：53*38.5mm
工作照度：>550mW/cm2(New lamp)
光源均勻度：≤3%
Tact time4”：43.1秒(第一片)，循環(huán)TT 25.6秒
6”：49.1秒(第一片)，循環(huán)TT 31.6秒
稼動率>95%


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