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標(biāo)準(zhǔn)型涂膠顯影機(jī) CD06-XS2C2D1A

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產(chǎn)品特點(diǎn) 1占地小、穩(wěn)定性高、操作與維護(hù)方便;
2可廣泛用于硅, 碳化硅, 氮化鎵,砷化鎵,玻璃等材料的涂膠顯影工藝;
3可覆蓋0.35um以上工藝需求,滿足2~6寸晶圓需求,可涂覆3~20000CP光刻膠;
4 控制精度高,實(shí)時(shí)控制解決方案,Ether CAT 通訊,高精度擺臂及傳輸機(jī)構(gòu);
5自主可控的技術(shù)方案,自主開發(fā)的軟件系統(tǒng),充分滿足定制化要求。

產(chǎn)品應(yīng)用

應(yīng)用范圍:

化合物半導(dǎo)體、功率器件、MEMS、射頻集成電路、LED、科研項(xiàng)目、光學(xué)器件

產(chǎn)品參數(shù)

片盒數(shù)量2&3CS
wafer 類型圓片、方片
wafer 尺寸(mm)50-150
產(chǎn)能(WPH)110
襯底材料Si、Glass、Sapphire、GaN、GaAs、SiC、LiTaO3、Li3PO4
適用工藝g-line、i- line、PI


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