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解決方案

大族激光多年來注重產品研發(fā)、科技創(chuàng)新投入與沉淀，緊隨高質量發(fā)展的推進步伐，打破關鍵核心技術壁壘；并基于自身產品獨特優(yōu)勢，不斷豐富全場景解決方案，賦能全球多個市場千行百業(yè)終端應用實例。

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新能源行業(yè)已發(fā)展成為全球經濟支柱產業(yè)，為更好地提供新能源產業(yè)鏈服務，向新能源行業(yè)縱深方向延伸，積極主動地融入新能源時代發(fā)展潮流

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國家能源局新能源和可再生能源司新能源處處長邢翼騰：“在過去的一年里，中國的光伏行業(yè)立足于新發(fā)展階段，產業(yè)優(yōu)勢持續(xù)增強，依舊保持

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刻蝕機 ET12-XS2E2S1A

產品特點 1.利用位置、速度可控的擺臂噴灑化學液，可以有效的提高刻蝕均勻性；
2.分層式反應腔體設計，可以在同一腔體中噴灑多種化學液，并能有效回收，節(jié)約化液；
3.疊層控制，占地面積小，最多可配置4個刻蝕單元。

產品參數

片盒數量	2CS&2LP
配置	4 Etch unit
wafer 類型	圓片
wafer 尺寸（mm）	50-300
產能（WPH）	90
化學藥液	H2O2、強酸堿
襯底材料	Si、Glass、Sapphire、GaN、GaAs、SiC、LiTaO3、Li3PO4
適用工藝	Wet Etch
干燥模式	Spin Dry+N2 Dry

解決方案

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深圳市大族半導體裝備科技有限公司主要研究應用于硅、碳化硅、砷化鎵、氮化鎵、陶瓷、藍寶石、玻璃、柔性薄膜和金屬等材料的加工工藝，

大族數控是全球PCB專用生產設備領域工序解決方案布局最為廣泛的企業(yè)之一；覆蓋常規(guī)剛性多層板、高密度互聯板(HDI)、類載板(S

激光作為一種新型技術，具有精度高、速度快、不對基體造成損害等特點，在電子信息產品生產過程中，激光技術在產品的體積優(yōu)化以及品質提

激光切割在機械五金行業(yè)的應用方案非常廣泛，可以在不同的領域實現不同的功能，提高生產效率和質量，降低生產成本，提高企業(yè)的競爭力。

激光焊接在家電廚衛(wèi)產品的焊接具有高的深寬比，焊縫寬度、熱影響區(qū)、變形小，焊接速度快；焊縫平整美觀、焊后無需處理或只需簡單處理工

激光切割工藝以及激光切割機設備正在被廣大板材加工企業(yè)所熟悉接受，并以其加工效率高、加工精度高、切割斷面質量好、可進行三維切割加

從油墨到激光，從激光到互聯網+，經過數十年的發(fā)展，激光打標技術已經越來越趨于成熟。目前，大族激光的飛行打標技術處于全國領先水平

交通物流行業(yè)是現代化經濟體系的重要組成部分，承擔著物品流通的重要任務。隨著科技的發(fā)展，激光技術逐漸被應用于交通物流行業(yè)，為行業(yè)

針對紡織機械生產需求，激光切割機加工范圍可涵蓋0-25mm金屬板材加工，同時對于一些需要鉆孔的工件，在沒有形成批量生產的情況下

在汽車行業(yè)產業(yè)鏈中，激光技術應用集中主要在中下游，目前新能源汽車市場還處在高速增長期.....

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刻蝕機 ET12-XS2E2S1A

產品應用

產品參數

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