解決方案

大族激光多年來(lái)注重產(chǎn)品研發(fā)、科技創(chuàng)新投入與沉淀，緊隨高質(zhì)量發(fā)展的推進(jìn)步伐，打破關(guān)鍵核心技術(shù)壁壘；并基于自身產(chǎn)品獨(dú)特優(yōu)勢(shì)，不斷豐富全場(chǎng)景解決方案，賦能全球多個(gè)市場(chǎng)千行百業(yè)終端應(yīng)用實(shí)例。

大族半導(dǎo)體激光開(kāi)槽技術(shù)取得新突破

作者：大族激光發(fā)布時(shí)間：2025/01/21

3D封裝是在二維封裝基礎(chǔ)上向空間發(fā)展的高密度封裝技術(shù)，該技術(shù)通過(guò)芯片堆疊或封裝堆疊的方式實(shí)現(xiàn)器件功能的增加，不僅能顯著提高封裝密度，還能有效降低封裝成本。在3D封裝制程中，Hybrid bonding混合鍵合技術(shù)中D2W或D2D工藝是其核心制程之一，該制程對(duì)前道切割段的精度要求、質(zhì)量要求以及particle管控更為嚴(yán)苛。相較于傳統(tǒng)封裝晶圓切割制程中Laser Grooving + Blade Saw方案，Laser Grooving + Plasma Dicing的組合切割方案憑借其優(yōu)異的切割質(zhì)量及particle管控等獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)，在3D封裝領(lǐng)域日益受到重視與青睞，展現(xiàn)出了非凡的潛力，為3D封裝技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。

大族半導(dǎo)體憑借在激光微加工領(lǐng)域的深厚積淀與卓越洞見(jiàn)，自2018年起便在國(guó)內(nèi)率先進(jìn)行Low-K開(kāi)槽關(guān)鍵技術(shù)的研發(fā)并取得突破性成果。近期，我司隆重推出全新一代全自動(dòng)晶圓激光開(kāi)槽設(shè)備—GV-N3242系列。該設(shè)備在開(kāi)槽質(zhì)量、開(kāi)槽精度、潔凈度管控以及材料兼容性方面的大幅躍升，已圓滿(mǎn)通過(guò)客戶(hù)嚴(yán)苛的技術(shù)驗(yàn)證，并完全具備量產(chǎn)能力，贏得了客戶(hù)的一致好評(píng)與廣泛認(rèn)可。

全自動(dòng)晶圓激光開(kāi)槽設(shè)備

型號(hào)：GV-N3242

01應(yīng)用領(lǐng)域

用于先進(jìn)封裝領(lǐng)域，在晶圓表層開(kāi)槽，輔助Plasma etch切割制程。

02設(shè)備優(yōu)勢(shì)

? 超快激光器(紫皮/紫飛)+新型光路整形方案，進(jìn)一步提升開(kāi)槽品質(zhì)；超高精度機(jī)械/氣浮平臺(tái)，進(jìn)一步提升開(kāi)槽精度;

? 升級(jí)視覺(jué)方案，配備超高倍鏡頭(>20x)以及紅外相機(jī)(選配)，提升視覺(jué)識(shí)別精度，實(shí)現(xiàn)晶圓背面開(kāi)槽方案;

? 整機(jī)壓差、對(duì)流以及涂膠清洗腔體設(shè)計(jì)升級(jí)，可滿(mǎn)足百級(jí)潔凈度要求，可支持裸晶圓/Frame全自動(dòng)天車(chē)上下料兼容模式。

03主要參數(shù)

04開(kāi)槽效果

大族半導(dǎo)體全自動(dòng)晶圓激光開(kāi)槽設(shè)備GV-N3242的成功推出，以高精度、高效率的特點(diǎn)，為半導(dǎo)體制造業(yè)提供了更為先進(jìn)、可靠的解決方案，標(biāo)志著我司在激光切割應(yīng)用領(lǐng)域的深度探索與創(chuàng)新又前進(jìn)了堅(jiān)實(shí)的一步。展望未來(lái)，大族半導(dǎo)體將持續(xù)在激光切割應(yīng)用領(lǐng)域深耕細(xì)作，為半導(dǎo)體制造業(yè)注入強(qiáng)勁動(dòng)力，推動(dòng)整個(gè)行業(yè)不斷向前邁進(jìn)。

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解決方案

新能源行業(yè)已發(fā)展成為全球經(jīng)濟(jì)支柱產(chǎn)業(yè)，為更好地提供新能源產(chǎn)業(yè)鏈服務(wù)，向新能源行業(yè)縱深方向延伸，積極主動(dòng)地融入新能源時(shí)代發(fā)展潮流

國(guó)家能源局新能源和可再生能源司新能源處處長(zhǎng)邢翼騰：“在過(guò)去的一年里，中國(guó)的光伏行業(yè)立足于新發(fā)展階段，產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢(shì)持續(xù)增強(qiáng)，依舊保持

深圳市大族半導(dǎo)體裝備科技有限公司主要研究應(yīng)用于硅、碳化硅、砷化鎵、氮化鎵、陶瓷、藍(lán)寶石、玻璃、柔性薄膜和金屬等材料的加工工藝，

大族數(shù)控是全球PCB專(zhuān)用生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域工序解決方案布局最為廣泛的企業(yè)之一；覆蓋常規(guī)剛性多層板、高密度互聯(lián)板(HDI)、類(lèi)載板(S

激光作為一種新型技術(shù)，具有精度高、速度快、不對(duì)基體造成損害等特點(diǎn)，在電子信息產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中，激光技術(shù)在產(chǎn)品的體積優(yōu)化以及品質(zhì)提

激光切割在機(jī)械五金行業(yè)的應(yīng)用方案非常廣泛，可以在不同的領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)不同的功能，提高生產(chǎn)效率和質(zhì)量，降低生產(chǎn)成本，提高企業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力。

激光焊接在家電廚衛(wèi)產(chǎn)品的焊接具有高的深寬比，焊縫寬度、熱影響區(qū)、變形小，焊接速度快；焊縫平整美觀、焊后無(wú)需處理或只需簡(jiǎn)單處理工

激光切割工藝以及激光切割機(jī)設(shè)備正在被廣大板材加工企業(yè)所熟悉接受，并以其加工效率高、加工精度高、切割斷面質(zhì)量好、可進(jìn)行三維切割加

從油墨到激光，從激光到互聯(lián)網(wǎng)+，經(jīng)過(guò)數(shù)十年的發(fā)展，激光打標(biāo)技術(shù)已經(jīng)越來(lái)越趨于成熟。目前，大族激光的飛行打標(biāo)技術(shù)處于全國(guó)領(lǐng)先水平

交通物流行業(yè)是現(xiàn)代化經(jīng)濟(jì)體系的重要組成部分，承擔(dān)著物品流通的重要任務(wù)。隨著科技的發(fā)展，激光技術(shù)逐漸被應(yīng)用于交通物流行業(yè)，為行業(yè)

針對(duì)紡織機(jī)械生產(chǎn)需求，激光切割機(jī)加工范圍可涵蓋0-25mm金屬板材加工，同時(shí)對(duì)于一些需要鉆孔的工件，在沒(méi)有形成批量生產(chǎn)的情況下

在汽車(chē)行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈中，激光技術(shù)應(yīng)用集中主要在中下游，目前新能源汽車(chē)市場(chǎng)還處在高速增長(zhǎng)期.....

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新能源行業(yè)已發(fā)展成為全球經(jīng)濟(jì)支柱產(chǎn)業(yè)，為更好地提供新能源產(chǎn)業(yè)鏈服務(wù)，向新能源行業(yè)縱深方向延伸，積極主動(dòng)地融入新能源時(shí)代發(fā)展潮流

國(guó)家能源局新能源和可再生能源司新能源處處長(zhǎng)邢翼騰：“在過(guò)去的一年里，中國(guó)的光伏行業(yè)立足于新發(fā)展階段，產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢(shì)持續(xù)增強(qiáng)，依舊保持

深圳市大族半導(dǎo)體裝備科技有限公司主要研究應(yīng)用于硅、碳化硅、砷化鎵、氮化鎵、陶瓷、藍(lán)寶石、玻璃、柔性薄膜和金屬等材料的加工工藝，

大族數(shù)控是全球PCB專(zhuān)用生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域工序解決方案布局最為廣泛的企業(yè)之一；覆蓋常規(guī)剛性多層板、高密度互聯(lián)板(HDI)、類(lèi)載板(S

激光作為一種新型技術(shù)，具有精度高、速度快、不對(duì)基體造成損害等特點(diǎn)，在電子信息產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中，激光技術(shù)在產(chǎn)品的體積優(yōu)化以及品質(zhì)提

激光切割在機(jī)械五金行業(yè)的應(yīng)用方案非常廣泛，可以在不同的領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)不同的功能，提高生產(chǎn)效率和質(zhì)量，降低生產(chǎn)成本，提高企業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力。

激光焊接在家電廚衛(wèi)產(chǎn)品的焊接具有高的深寬比，焊縫寬度、熱影響區(qū)、變形小，焊接速度快；焊縫平整美觀、焊后無(wú)需處理或只需簡(jiǎn)單處理工

激光切割工藝以及激光切割機(jī)設(shè)備正在被廣大板材加工企業(yè)所熟悉接受，并以其加工效率高、加工精度高、切割斷面質(zhì)量好、可進(jìn)行三維切割加

從油墨到激光，從激光到互聯(lián)網(wǎng)+，經(jīng)過(guò)數(shù)十年的發(fā)展，激光打標(biāo)技術(shù)已經(jīng)越來(lái)越趨于成熟。目前，大族激光的飛行打標(biāo)技術(shù)處于全國(guó)領(lǐng)先水平

交通物流行業(yè)是現(xiàn)代化經(jīng)濟(jì)體系的重要組成部分，承擔(dān)著物品流通的重要任務(wù)。隨著科技的發(fā)展，激光技術(shù)逐漸被應(yīng)用于交通物流行業(yè)，為行業(yè)

針對(duì)紡織機(jī)械生產(chǎn)需求，激光切割機(jī)加工范圍可涵蓋0-25mm金屬板材加工，同時(shí)對(duì)于一些需要鉆孔的工件，在沒(méi)有形成批量生產(chǎn)的情況下

在汽車(chē)行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈中，激光技術(shù)應(yīng)用集中主要在中下游，目前新能源汽車(chē)市場(chǎng)還處在高速增長(zhǎng)期.....

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深圳市大族半導(dǎo)體裝備科技有限公司主要研究應(yīng)用于硅、碳化硅、砷化鎵、氮化鎵、陶瓷、藍(lán)寶石、玻璃、柔性薄膜和金屬等材料的加工工藝，

大族數(shù)控是全球PCB專(zhuān)用生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域工序解決方案布局最為廣泛的企業(yè)之一；覆蓋常規(guī)剛性多層板、高密度互聯(lián)板(HDI)、類(lèi)載板(S

激光作為一種新型技術(shù)，具有精度高、速度快、不對(duì)基體造成損害等特點(diǎn)，在電子信息產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中，激光技術(shù)在產(chǎn)品的體積優(yōu)化以及品質(zhì)提

激光切割在機(jī)械五金行業(yè)的應(yīng)用方案非常廣泛，可以在不同的領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)不同的功能，提高生產(chǎn)效率和質(zhì)量，降低生產(chǎn)成本，提高企業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力。

激光焊接在家電廚衛(wèi)產(chǎn)品的焊接具有高的深寬比，焊縫寬度、熱影響區(qū)、變形小，焊接速度快；焊縫平整美觀、焊后無(wú)需處理或只需簡(jiǎn)單處理工

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從油墨到激光，從激光到互聯(lián)網(wǎng)+，經(jīng)過(guò)數(shù)十年的發(fā)展，激光打標(biāo)技術(shù)已經(jīng)越來(lái)越趨于成熟。目前，大族激光的飛行打標(biāo)技術(shù)處于全國(guó)領(lǐng)先水平

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針對(duì)紡織機(jī)械生產(chǎn)需求，激光切割機(jī)加工范圍可涵蓋0-25mm金屬板材加工，同時(shí)對(duì)于一些需要鉆孔的工件，在沒(méi)有形成批量生產(chǎn)的情況下

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