大族激光榮獲2021年度廣東省科技進步獎一等獎

作者：大族激光發(fā)布時間：2022/04/15

大族激光科技產(chǎn)業(yè)集團股份有限公司聯(lián)合深圳大學(xué)/深圳技術(shù)大學(xué)團隊等共同申報的項目《百瓦級紫外皮秒/納秒激光器關(guān)鍵技術(shù)及系列智能制造裝備》獲批2021年度廣東省科技進步獎一等獎。

高功率長壽命紫外激光器及其智能制造裝是消費電子產(chǎn)品和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)精密加工的核心利器，其性能直接影響高端電子和芯片產(chǎn)品的品質(zhì)。隨著消費電子產(chǎn)品和芯片尺寸、精度及品質(zhì)要求的提高，工業(yè)紫外激光器功率和壽命及電子領(lǐng)域加工裝備關(guān)鍵技術(shù)等方面仍面臨難題，亟待突破。

項目組歷經(jīng)多年自主研發(fā)和技術(shù)攻關(guān)，突破了紫外激光器功率和壽命的技術(shù)瓶頸，研究了LBO晶體紫外光損傷機理，攻克了非布儒斯特切角晶體三倍頻技術(shù)，使晶體單點工作壽命突破8000小時；提出了光纖/固體混合放大技術(shù)，解決了紫外激光器工程化及工藝難題，獲得了百瓦系列皮秒/納秒紫外激光器。

1.研發(fā)了多軸高精度紫外激光金屬鍍層去除裝備。針對智能手機通訊信號被金屬中框鍍層屏蔽的工程技術(shù)難題，提出了紫外激光去除金屬鍍層的新工藝。

2.研發(fā)了紫外激光電路板多層異形加工裝備。發(fā)明了激光動態(tài)變焦多層及分層切割新方法，攻克了新一代SiP封裝技術(shù)難題，突破了SiP封裝電路板超厚加工。

3.研發(fā)了先進半導(dǎo)體晶圓紫外激光加工裝備。發(fā)明了激光聚焦光斑形狀及大小精確控制方法，攻克了晶圓表面開槽和切割中脆性材料崩邊和裂紋工藝難題，使加工效率提高。

該項目獲授權(quán)發(fā)明專利20項、實用新型32項、軟著5項、論文16篇、企業(yè)標準2項，獲2017年深圳市科技進步一等獎、2017年亞洲唯一入圍國際光學(xué)工程學(xué)會“棱鏡獎”等。50多款激光裝備產(chǎn)品暢銷國內(nèi)外，被眾多著名企業(yè)廣泛應(yīng)用，取得較大的經(jīng)濟效益。項目成果的實施顯著提高了激光精密制造行業(yè)的科技進步，提升了激光制造技術(shù)國際競爭力。